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首页 产品中心 晶圆搬运机器人 尼得科-三协大气用半导体晶圆搬运机器人
大搬送范围的设计
独立的双驱动系统实现2片同时取放
紧凑的构造、很小的占有面积
应对10mm的片间距
和晶圆合同片间距的2片同取放
低取片高度
具有多功能和可回旋的手臂
3段链接ARM无行走轨道的设计、应对最大5台晶圆合平行排列
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