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智赢推出新产品翻转轴晶圆机器人-SR8220-1024-R系列

发布日期:2023-05-11来源:东莞智赢

随着国内半导体行业的快速发展,国内半导体装备企业对于半导体的制造工艺由后道工序不断的向前道工序拓展,对于搬运晶圆的结构需求类别日益新增。为了满足多样化的市场需求,智赢在2023年推出了翻转轴晶圆机器人。

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SR8220-1024-R系列





产品特点

* 采用伺服电机中空轴结构作为翻转轴

* 翻转轴可根据要求调节速度

* 伺服电机绝对值编码器

* 可以实现真空吸附、夹持、伯努利形式的翻转

* 结构灵活、单臂、双臂翻转都可以实现

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翻转轴晶圆机器人SR8220-1024-R系列适合晶圆制造的工艺段有:晶圆的涂胶、贴膜、激光打标、清洗、研磨、去胶、显影、刻蚀等。



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技术优势

1、拥有专业的软件技术团队,提供高效的技术服务支持,以及培训工作。

2、SR8220系列晶圆机器人作为智赢的标准产品,我们储备库存,缩短交付周期。

3、专业的工程设计团队,可以快速实现多样化的SR8220系列机器人升级改造。

4、技术人员拥有十几年的晶圆机器人应用经验,专业的售前指导工作,为客户提供更优的技术方案。




本文作者·蒋江坤

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   ■ 半导体行业高级应用工程师

    从事智能装备制造业12年,拥有丰富的直线电机和晶圆机器人行业应用经验,可为客户提供智能控制和运动部件整体解决方案。



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东莞市智赢智能装备有限公司是一家专注于智能控制与运动部件的国家级高新技术企业,主导产品为直线电机、直线模组、DD马达、驱动器、编码器,可提供工业运动控制一站式解决方案,下游客户包括半导体设备、新能源设备、面板显示设备、医疗器械、3C等精密自动化行业的众多知名企业。公司配备有先进的研发、生产设备及检测仪器,通过了ISO9001、ISO45001、ISO14001、欧盟CE等体系认证,拥有授权发明、实用新型、外观,软件著作权等72项专利(截止2023.3月)。

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凭借雄厚的技术实力、过硬的产品质量、优质的客户服务,公司已成为直驱领域国产品牌中的领先者。未来,公司将继续秉持“让中国智能装备与世界同步,为客户创造更多投资回报”的企业使命,坚持市场需求引领、品牌服务支撑、创新技术驱动,不断开拓进取,为我国智能制造设备行业添砖加瓦,助力中国高端装备的深度国产化和智能化转型升级!


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