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2022智赢智能推出新产品-晶圆搬运机器人

发布日期:2022-07-08来源:东莞智赢

晶圆搬运机器人

 2022 

近年来,芯片短缺问题导致半导体设备行业再遇危机,致使硅片制成设备、涂胶显影、光刻机、离子注入设备、刻蚀机等关键制成设备平均交付时间已延长至18-30个月。而设备制成段过程各个环节的链接也不可忽视,晶圆搬运机器人在这个环节中起到了重要作用。


智赢智能装备为解决行业交付难题以及贸易技术壁垒问题和晶圆机器人的国际龙头制造厂家日本电产三协电子有限公司达成战略合作。


智赢智能装备为日本三协电子国内唯一一家授权可以销售晶圆机器人以及提供技术支持的公司。



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产品

 介绍

行业应用:晶圆的研磨、清洗、点胶、曝光、显影、刻蚀、CMP、封装、检测等制成工艺段


使用环境:恒温无尘车间

夹持手:真空吸附/边缘夹持

最大负载(kg):1

R1/R2臂长(mm):-265~+245、-212~+321、-319~+447

Z轴(mm):300/500

θ轴(deg): 340

重复精度(mm): ±0.1

控制器:SC5000

电机供电:单相220

配置说明:三协机器人主体、智赢设计机械夹手


产品特点

采用2ARM构造增大了搬运范围;

双臂结构实现晶圆的双片取放的高速传输;

ARM和Z轴组合满足各种装置需求;

可同时兼容2~12英寸晶圆的搬送。

东莞智赢晶圆搬运机器陶瓷手臂3.jpg


 智赢智能对于晶圆机器人优势 

01

智赢智能提供不同材料结构夹持手的设计生产,解决三协工厂设计周期长的问题;

02

对应的常规品备有库存,可快速交付满足客户研发及批量生产要求;

03

专业的技术调试团队提供技术支持,快速响应;

04

丰富传动行业的应用经验提供配套的移载轴以及高精密运动平台等定制方案。

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DGSMARTWIN

智赢作为一家高新企业,从2013年12月创立以来,从最初的贸易经销商转型至自动化精密传动配件生产厂商,产品从传统的导轨、丝杆转型至直线电机、工业机器人、dd马达(力矩电机)、精密型定制平台,产品广泛应用于微精密激光加工设备、精密测量仪器、液晶面板设备、电子半导体设备、医疗器械、太阳能光伏设备、锂电池新能源行业、喷绘行业等需要精密控制及定位的领域。从2017到2021年,产值连续五年上升。

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智赢拥有专业的核心技术研发团队,凭借丰富的行业应用经验,为客户分析方案的可行性,提供卓越的整体解决方案。产品通过欧盟CE、ROHS认证,企业通过ISO9001质量管理体系认证。在知识产权方面,智赢已获得有效专利共49项,其中授权实用新型专利44项,已授权发明专利10项。还有13项发明专利也在受理中。已登记注册3项软件著作权。


智赢始终坚持以客户为核心的服务理念,为客户提供整体规划、设备选型、安装调试、技术培训、维护保养等系统服务,帮助客户优化工艺流程、提高产能效率,降低生产成本,从而获得更强的竞争力,为客户创造价值。


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