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首页 产品中心 晶圆搬运机器人 尼得科-三协大气用半导体晶圆搬运机器人
采用2ARM构造增大了搬运范围
实现了晶圆的高速传输和双片同取放
确保了超高的直线精度
ARM和Z轴的各种组合以满足应对各种装置的需求
可同时适应于2~8英寸包括12英寸的晶圆搬送
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